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HOMESolution 웨이퍼 자동검사기

웨이퍼 자동검사기

  • 광학계 대물렌즈 5x 고정배율 Auto Focusing
  • 2” 4” 혼용 지그 (No Vaccum, No Rotate)
  • XYZ Motorized
    Joystick manual movement (Rotary)
    Software manual movement (Jog)

특징

2” 4” 스캐닝 맵 스위칭 혼용 및 탭 전환 사용
포함된 불량 형태에 따른 표기 검사 AOI 분석 이미지 뷰 지원
멀티 하이퍼스레딩 지원으로 촬영 및 분석, 무브먼트의 유휴시간 최소화
스캐닝 맵 & 실제 스테이지 인터페이스 연동 무브먼트 지원 검출 위치 간편 이송

샘플 검출(필터X, 5x 반사)

샘플 검출(DIC필터, 5x 반사)

  • 스티칭이미지(200만화소이미지를 여러장 타일링된 이미지)
    구성될 시스템은 웨이퍼 전체를 기준으로 전면적 (원사이즈)스티칭 불가능(이미지 사이즈가 Max 20,000x20,000임)
    축소되어 스티칭됨
  • DIC필터적용한 이미지
    기존 이미지보다 크랙검출능력은 뛰어나지만 상대적으로 노이즈가 심함.

SPECIFICATION

구분 내용 비고
Camera 2MP CCD 1/1.8”
광학계 현미경 5X
Stage Motorized Stage spec <>
Motion Controller AjinExtek Nx04 4Axis PCI
Motor Oriental社 모터 & 드라이브 3Axis
Joystick 로터리 타입 다이얼 조그 3Axis
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