3D Profiling

Products
HOMESolution3D Profiling Profilm 3D

Profilm 3D

3D Optical Profiler

Low Cost - High Accuracy
본 장비는 광학 프로파일에 알맞게 제작되어 있습니다.
Profilm 3D는 수직 스캐닝 간섭법(VSI)과 고해상도 위상차 간섭 측정법(PSI)가 적용되어 고정밀도 측정이 가능합니다.
이는 전례없는 가격으로 나노 미터 이하의 표면 형상에 대한 접근을 제공합니다.
A 100mm Auto-XY Stage
왜 옵션기능에 대해 비용을 추가합니까? Our Automated XY stage is standard on every
모든 Profilm 3D 제품에는 Automated XY stage & Tip/tilt stage가 기본적으로 포함됩니다.
Largest Field-of-view
The Profilm 3D은 10X 대물렌즈와 디저털줌을 통해 매우 넣은 시야범위(~2mm)를 실현해 줌으로써 여러 렌즈가 필요가 없습니다.
결과적으로 모든 비용을 줄일 수 있습니다. 용도에 맞게 렌즈가 여러 개 필요할 경우 자동 및 수동터렛을 적용할 수 있습니다.

Performance Specification

Thickness Range, VSI 50nm~10mm
Thickness Range, PSI 0~3um
RMS Repeatability, VSI 1.0nm
RMS Repeatability, PSI 0.1nm
Step-Height Accuracy 0.7%
Step-Height Repeatability 0.1%
Sample ReflectanceRnage 0.05~100%
ISO 25178 Compliant Yes

Mechanical Specification

Z Range 100mm
Piezo Range 500um
Scan Speed, Vertical 12um/sec
XY Stage Type Automated
XY Stage Range 100mmx100mm
Tip/Tilt Stage +/-5℃, Manual
Camera 2592x1944(5M)
Camera Zoom 1X, 2X, 4X
System Size W x D x H 300x300x550mm
System Weight 15kg
Optional Accessories
  • 위치센서가 포함됨. 수동형 4 터렛방식

Objective (Nikon CF IC EpiPlan)

Magnification 2.5X 5X 10X 20X 50X 100X
Field of view at 1x Zoom 8.0 x 6.8mm 4.0 x 3.4mm 2.0 x 1.7mm 1.0 x 0.85mm 0.4 x 0.34mm 0.2 x 0.17mm
Numeric Aperture 0.075 0.13 0.3 0.4 0.55 0.7
Working Distance 10.3mm 9.3mm 7.4mm 4.7mm 3.4mm 2.2mm
Spatial Sampleing At 4x Zoom 3.52um 1.76um 0.88um 0.44um 0.176um 0.088um
Resolving Power of Lens 3.7um 2.1um 0.92um 0.69um 0.5um 0.4um
Maximum Sample Slope 3 ° 8.5 ° 14 ° 21 ° 25 ° 42 °
  1. 8um step, 1sigma
  2. 8um step, 100 successive measurements, 1 sigma
  3. Digitally realized. Number of effective pixels is 648x484 for all zooms.
  4. Sold separately.
  5. Pixel size projected on sample.
  6. Greater (better) for non-specular surfaces

Application

거칠기 측정

실리콘 기판의 거칠기 측정. ISO 규격을 선 거칠기(R)과 거칠기(S) 모두측정할수있음.

단차측정

구리보드의 나노 단위의 요철을 측정. 1회 측정으로 나노 단위의 요철을 측정할 수 있음.

렌즈의 형상

렌즈의형상을측정. 고정밀의구면을형상화할수있음.

단차측정

워크물의단차를측정하여형상화할수있음.

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